Представленная технология PulSar (PS) расширяет возможности любого BSI-сенсора серии GSENSE, позволяя фиксировать излучение вакуумного и даже экстремального УФ, мягкое Рентгеновское излучение с квантовой эффективностью, достигающей 100%. Кроме прочего, такая технология демонстрирует превосходную стойкость к воздействию радиации.
Стандартные BSI sCMOS-датчики изображения Gpixel имеют проверенную репутацию в применениях, требующих хорошей квантовой эффективности вплоть до длин волн дальнего УФ (FUV) (122-200 нм), а также в области детекции электронов с энергией в диапазоне от 1 кэВ до 10 кэВ. Однако, пассивирующий слой на поверхности этих датчиков сильно поглощает фотоны с более короткой длиной волны, ограничивая возможности в диапазонах VUV, EUV и мягкого рентгеновского излучения. Долгосрочные испытания также показали некоторую деградацию показателей.
С новой технологией Gpixel PulSar (PS), сенсор лишен просветляющего покрытия, что в значительной степени увеличивает чувствительность в экстремальном УФ и мягком Рентгеновском излучении. Кроме того, теперь применяется новый тип пассивации для уменьшения толщины нечувствительного слоя на поверхности сенсора, снижающего темновой ток и увеличивающий сопротивление воздействию радиации.
Новые возможности сенсоров в области дальнего УФ вкупе с высокой кадровой частотой принесут новые возможности во многих областях науки, включая Рентгеновскую микроскопию, EUV-литографию. Особый интерес к сенсорам ожидаемо возникнет в области прямой детекции электронов.
На рисунках выше приведены кривые зависимости квантовой эффективности от энергии фотонов.
Справа приведена гистограмма частот единичных событий для фотона в диапазоне 92-1000 эВ.
Сенсоры PulSar (PS) полностью совместимы с соответствующими стандартными BSI-сенсорами Gsense, что позволяет быстро адаптировать существующие разработки для выполнения новых задач.
Первые образцы сенсора GSENSE2020BSI-PS уже доступны для заказа, следующим к выходу готовят матрицу GSENSE400BSI-PS, образцы которой должны появиться к середине 2020 года.
PulSar модификации других BSI-сенсоров Gpixel серии Gsense доступны по запросу.